美高梅官方网站_www.4688.com【官网入口】

美高梅官方网站_www.4688.com【官网入口】

美高梅官方网站_www.4688.com【官网入口】

  当前位置:美高梅官方网站>>行业资讯>>技术前沿>>正文  
 

关键字:

太阳能硅片砂浆在线回收工艺

编辑: 来源: 北极星太阳能光伏网 发表时间: 2013-04-23 已浏览 字号:

 

1 引言

砂浆在线回收工艺,是将废砂浆经在线回收设备处理,将可重复使用的碳化硅颗粒和切割液回收再利用,操作方便,节约了废砂浆储存空间,且有效降低了成本。在此过程中无需添加任何化学成分,保证了砂浆的原有性质。但由于回收的碳化硅、切割液的质量和比例直接影响硅片切割质量,本文主要论述在线回收砂浆对切割质量的影响及调整措施。

2 在线回收砂浆切割质量分析

2.1 不同回收比例的砂浆切割质量分析

随着砂浆回收比例的提升,砂浆的粒径、圆度及微粉含量都会有所变化,从而影响砂浆的切割能力。

回收比例

微粉含量<6um(%)

圆度(6-60um)

D50(um)

第一阶段

3.79

0.902

13.88

第二阶段

4.63

0.903

13.58

第三阶段

7.82

0.903

12.478

第四阶段

6.54

0.904

12.134

从使用在线回收设备,逐渐提高砂浆的回收比例,经过不同阶段的配比情况,切割质量对比如下:

回收比例

切割刀数

平均合格率

A级品率

平均厚度(um

TTV(um)

断线刀数

断线率

第一阶段

7

95.82%

99.56%

187.99

24.82

0

0

第二阶段

50

96.38%

98.85%

189.77

23.87

3

6%

第三阶段

557

96.07%

96.78%

193.52

25.47

38

7%

第四阶段

1773

95.80%

97.53%

189.32

24.04

36

6%

可以看出,使用第四阶段回收比例的砂浆切割质量情况相对较稳定,各项指标较理想。

2.2 回收次数对切割质量的影响

从第二阶段回收比例比例到第四阶段回收比例调整过程中,第三阶段回收比例的砂浆共回收35批次,第四阶段回收比例的砂浆共回收37次,但随着砂浆回收次数逐渐增多,硅片质量也出现波动,其中第三阶段回收比例的砂浆使用到第35次时硅片表面出现严重锯痕,原因是砂浆切割能力不足第四阶段回收比例的砂浆使用到第37次时清洗工序崩边碎片率较高,原因是硅片表面锯痕太深引起。

砂浆回收次数对切割质影响的分析

砂浆回收次数对切割质量影响的分析

回收比例

回收次数

合格率

A级品率

切割质量说明

第二阶段

14

96.52%

97.4%

回收第14次时断线率明显增加

第三阶段

35

95.68%

96.04%

回收第35次时硅片表面锯痕严重

第四阶段

37

95.5%

95.31%

回收第37次时清洗工序碎片率较高

备注:回收次数的调配根据新砂浆的投入量而定

2.3 在线回收砂浆对线损的影响

对线锯切割完的旧钢线,取样线进行检测发现,使用不同回收比例的砂浆进行切割,钢线平均直径的磨损程度差异不大,但是椭圆度随着砂浆回收比例的提高而增大;同时,随着砂浆回收次数的增多,钢线直径的磨损程度和椭圆度也有所增大。由于钢线线损过大、椭圆度过高会直接影响携砂量,会因此会影响切割质量。

3 使用在线回收砂浆过程中存在的主要问题及调整措施

砂浆的质量直接影响硅片的切割质量,而使用在线回收设备回收的砂浆不可避免会存在质量波动,主要表现为砂浆中微粉含量偏高,切割能力不足,这将直接导致质量问题的产生,如硅片表面锯痕或TTV值超差。对此,主要措施为调整在线回收设备的相关参数:调整流量值、差速或主频、副频值。

参考文献

[1] 王文斌.机械设计手册[M].北京:机械工业出版社,2008

[2] 李保军.硅单晶锭多线切割中砂浆作用的研究[J].半导体技术,2007,32(6).

[3] 张楷亮,刘玉玲,张建新,等.半导体硅材料加工技术分析及相关化学品的研究[A].第十三届全国半导体集成电路、硅材料学术会论文集[C],深圳,2003,90-105.

|<< << < 1 2 > >> >>|
关闭窗口

上一篇:IBC背接触太阳能WMT高效能光伏电池电极绝缘浆料
下一篇:得可太阳能助力为低成本、高效率太阳能电池扫除障碍